【事業内容】横浜・実績

1992年~

  • 予備校用過去出題問題集データベース構築
  • 受光素子半導体検査装置制御システム
  • CCDカメラ受光性能検査装置システム
1995年~

  • 光学系分光照射装置システム設計制作
  • ハワイ島マウナケア山頂の「すばる」天文台用シミュレータシステム制作
  • セラミックコンデンサ製造装置制御システム設計制作
  • セラミックフィルター製造装置制御システム設計制作

  • X線露光装置システム設計制作
  • ウェハ露光装置の周辺機器、調整ソフトウェア設計、制作
  • 一眼レフカメラ基板検査システム設計、制作
  • 赤外線カメラ画像解析システム設計、制作
  • ウェハ・レジスト評価/検査システム設計、制作
  • EBウェハ測定装置設計、制作
  • リニアモーター実験用ソフトウェア設計、制作
2001年~

  • EB制御システム設計制作
  • 露光装置システム設計制作
  • 300mウェハEB検査装置設計制作
  • 微細化ウェハ・アライメント・ソフトウェア設計、制作
  • 微細化ウェハ用ビッグ・データ解析ソフトウェア設計、制作
2008年~

  • 微細化ウェハ計測装置コンサルティング
  • 半導体工場微細化向け、半導体製造装置、検査装置等、
    約60機種のEquipment Interface(MESと装置間I/F)対応
  • 半導体工場後工程歩留まり管理システム設計制作
  • EES大容量データ解析ツール設計制作
  • ファブ・シミュレータ、エミュレータ設計制作
  • 450mmウェハ制御システム設計制作
  • フアブ微細化工程コンサルティング